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  • 四氟化碳 CF4 (Carbon tetrafluoride)

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    CAS: 75-73-0 纯度: >99.999%
    用途:电子工业中等离子蚀刻、电子器件表面清洗、印刷电路的去污剂;制冷剂;电力行业的电气绝缘和灭弧材料;太阳能电池的生产等。
  • 六氟化硫 SF6 (Sulfur hexafluoride)

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    CAS: 2551-62-4 纯度: >99.999%
    用途:用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。采矿工业用作反吸附剂,用于矿井煤尘中置换氧。高纯SF6还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀...
  • 六氟乙烷 C2F6(hexafluoroethane)

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    CAS: 76-16-4 纯度: >99.999%
    用途:六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上...
  • 笑气 N2O(nitrous oxide;Laughing gas)

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    CAS: 10024-97-2 纯度: >99.9995%
    用途:医用麻醉剂,火箭推进剂,赛车加速助燃剂,杀虫灭菌剂。在集成电路器件、IC 卡、LED、微电子、光伏等行业中也有广泛应用。
  • 氯气 CL2(chlorine)

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    CAS: 7782-50-5 纯度: >99.999%
    用途:用于漂白,制造氯化合物、盐酸、聚氯乙烯,可用作半导体生产中的气体蚀刻剂等。
  • 三氟甲烷 CHF3(Trifluoromethane;Freon23)

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    CAS: 75-46-7 纯度: >99.999%
    用途:用作低温(-100℃)制冷剂,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料、致冷剂、灭火剂替代品。
  • 三氯化硼 BCL3 (Boron trichloride,Boron chloride)

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    CAS: 10294-34-5 纯度: >99.999%
    用途:高纯硼和有机硼的制取,掺杂、蚀刻、光纤维的制造、扩散。
  • 硅烷 SIH4(Silane)

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    CAS: 7803-62-5 纯度: >99.9999%
    用途:硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅...

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