产品规格
生产能力：200吨/年
包装规格：DOT47L 46kg/ DOT470L 460kg
阀门型号：DISS716
工艺特点：连续低温精馏
应用范围
六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
生产能力：200吨/年
包装规格：DOT47L 46kg/ DOT470L 460kg
阀门型号：DISS716
工艺特点：连续低温精馏
六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
